二手 AXCELIS / FUSION GPS #9226279 待售
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單擊可縮放
ID: 9226279
晶圓大小: 8"
Dual chamber UV Stabilizer / Bake system, 8"
With 3-Axis robot
Missing parts.
AXCELIS/FUSION GPS是一個先進的蝕刻和asher平臺,為過程集成和生產提供卓越的過程控制、可重復性和生產率。它包括一整套軟件、硬件和消耗性產品,使用戶能夠為各種應用程序創建高精度、高度可重現的流程。FUSION GPS平臺具有功能強大的控制模塊以及一系列軟件和硬件組件，使其適合一系列流程配置。該軟件設計為高度靈活和用戶友好,使用戶能夠快速高效地對系統進行編程和控制。該系統可與各種蝕刻化學和介質結合使用，非常適合集成加工、生產和接觸光刻應用。AXCELIS GPS平臺的硬件部件由電子束源、光學單元、晶圓級和離子源組成。電子束源產生高能束，用於選擇性地蝕刻半導體材料上的特征。光學單元使高能光束能夠正確聚焦，並配有快門控制等功能，旨在優化蝕刻工藝。晶片級使晶片能夠旋轉和移動，以確保所有特征的統一處理。最後，用離子源將離子植入目標底物，進一步增強蝕刻過程。GPS平臺配備了一系列旨在保護人員和設施的安全功能。這些功能包括高分辨率平板顯示器和高級安全聯鎖,用於檢測處理過程中可能發生的壓力、真空和溫度變化,並在發生不安全事件時向操作員發出警報。此外,該平臺還包括一個集成的冷凍系統,旨在保持加工環境的涼爽和清潔。最後,AXCELIS/FUSION GPS平臺包括一系列可消耗部件和材料,以確保在每一個應用程序中都能取得有希望的結果。從消耗性口罩到樣品支架、電纜等,平臺可確保每個蝕刻和灰化過程的可靠和一致的性能。隨著時間的推移,該平臺產生了優越且可重復的過程結果。
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