二手 AXCELIS / FUSION Integra #9201835 待售

AXCELIS/FUSION Integra是一款高度先進的蝕刻和灰化設備，設計用於半導體制造業的大批量加工。這個先進的系統結合了等離子體蝕刻和熔爐粉刷的靈活性，允許在一個單元中具有多種功能。該機器可靠性高，效率高，易於滿足最復雜的半導體制造工藝的需求。FUSION Integra能夠處理各種晶圓尺寸，擅長同時執行多達6次蝕刻和4次灰化操作。該工具采用50英寸（1270毫米）ICP源和多區隔離室構成，可在長時間的過程中提供穩定的操作。它具有高達75晶片每小時的蝕刻過程和高達25晶片每小時的灰化的高吞吐量能力。該資產還采用了雙冷卻器冷卻模型,以提高性能和可靠性,並配備了精密的速度生成的惰性氣體輸送設備,以確保在整個過程中保持一致的氣體壓力。AXCELIS Integra具有直觀、用戶友好的界面,能夠存儲多達50種食譜,方便快速訪問。該系統還擁有一個功能強大且高效的控制單元，帶有經過調整的PID算法，提供靈活、準確、可重復的過程控制。該機還設有一個精密清潔站，以方便和有效地清潔工序之間的刀具部件。為確保人員安全，Integra擁有多項內置的安全功能。資產配有聯鎖裝置，以防止進程意外啟動或關閉，火焰檢測系統以確保安全、操作和緊急關閉能力。總體而言，AXCELIS/FUSION Integra是一個高級模型，非常適合蝕刻、反應性離子蝕刻和灰化工藝。該設備提供了可靠、高效、易於使用的解決方案，不僅滿足，而且超過了要求最苛刻的半導體加工要求。