二手 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201805 待售

  • 圖為 已使用的 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S 待售
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蝕刻機/ 光阻清洗機
製造商
AXCELIS / FUSION / MATRIX
模型
Bobcat 209S
ID: 9201805
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Single chamber asher 2001 vintage Power: 208VAC 3 Phase 50 / 60 HZ Installed in wafer fab Fully operational Manuals (CD) available with tool Asher component details Mainframe: Type Standalone Model Matrix Bobcat 209S asher Chamber: How Many? 1 Type RIE Process ASH Load locks / Load plate: Open cassette or SMI Open cassette How Many? 1 Robot: How Many? 1 Method of Transport Transfer Unit Make / Models: Rorze, RR701 RF Generators: How Many? 2 Make/Models: Comdel FR-111R2, Microwave generator 3kw Gas box: Gases used per chamber: 3 Identify gases: N2-1000, N2 -300, N2- 1000 (Gases run O2,N2, none) MFC’s used (Make /Model): MKS Control system: PC or Control Rack? PC Software ype and Version: Windows nt.
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AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S是為生產微處理器和DRAM等集成電路而設計的蝕刻器/asher。FUSION Bobcat 209S非常可靠、準確、高效,在蝕刻或粉刷應用程序時提供出色的性能。它能夠加工直徑達8英寸的基板，提供單面和雙面工藝。這些系統的電氣元件設計為在200V的標稱電壓下運行,最多可處理600V,從而對蝕刻和灰化過程進行更大的控制。該系統還具有一個專利的旋轉門室，允許快速和容易的基板裝卸。秋千門還有助於在整個過程中保持一致的溫度，減少對基板溫度變化的暴露。MATRIX山貓209S還提供獨特的集成計算機顯示器VGA/攝像機。這允許用戶目視檢查每個基板以監視過程一致性。自動端點檢測系統還監視過程條件,以確保蝕刻和灰化過程正確結束。此外，AXCELIS山貓209S具有射頻能力，並具有改進密度、均勻性和蝕刻速率穩定性的溫度控制平臺。它還具有質量流控制器，在整個過程中提供精確的軸向沈積控制。該系統還支持多個配方程序，允許用戶對蝕刻和ashing配方進行編程，並存儲配方以供將來參考。山貓209S專為最大的能力和效率而設計,允許在短時間內進行精確、高質量的蝕刻和灰化過程。它非常適合尋求提高性能和提高生產速度的制造商。對於那些尋求可靠的蝕刻器/灰度以滿足其集成電路需求的用戶來說,它是可靠和方便的。
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