二手 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201816 待售
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ID: 9201816
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Single chamber asher, 8"
2001 vintage
Power:
208VAC
3 Phase
50 / 60 HZ
Installed in wafer fab
Fully operational
Manuals (CD) available with tool
Asher component details
Mainframe:
Type Standalone
Model Matrix Bobcat 209S asher
Chamber:
How Many? 1
Type RIE
Process ASH
Load locks / Load plate:
Open cassette or SMI Open cassette
How Many? 1
Robot:
How Many? 1
Method of Transport Transfer Unit
Make / Models: Rorze, RR701
RF Generators:
How Many? 2
Make/Models: Comdel FR-111R2, Microwave generator 3kw
Gas box:
Gases used per chamber: 3
Identify gases: N2-1000, N2 -300, N2- 1000 (Gases run O2,N2, none)
MFC’s used (Make /Model): MKS
Control system:
PC or Control Rack? PC
Software ype and Version: Windows nt.
AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S是專門為高級化學機械平面化（CMP）應用而設計的蝕刻器/asher。它利用計算機控制的旋轉壓板在蝕刻或灰化過程中使晶片穿過加工室，提供高通量和出色的工藝控制。這種CMP設備提供了一種有效的工具，可以精確地從晶圓表面去除材料。FUSION山貓209S為CMP流程提供了高度自動化。其特點包括先進的工藝控制器、基板和流體輸送系統中的壓力傳感器，以調節每個工藝步驟的漿料供應、排氣壓力、溫度和壓力控制以及自動化工藝沖洗和晶圓清洗周期。MATRIX Bobcat 209S還配備了VDIL（視覺定向惰性蝕刻）功能，使其無需操作員幹預即可處理多個批量。該單元還允許使用可選的DPM（衍射反射）傳感器進行精確的過程控制。此外,AXCELIS Bobcat 209S還提供各種工藝支持工具,例如溫度和壓力配置文件、晶圓清潔配置文件和工藝配方。為確保提高流程可重復性和可靠性,Bobcat 209S采用了與配方管理軟件系統兼容的軟件。AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S是一種靈活的CMP機器；因此，它支持多種CMP工藝，包括蝕刻回、化學機械拋光（CMP）、氣體和化學蝕刻以及灰化。它能夠容納直徑達200毫米的晶片。安全方面，FUSION山貓209S符合CE和CSA安全標準。由於其可靠的設計和安全標準,MATRIX Bobcat 209S提供了最大的吞吐量和高效的VDIL性能。此外，它的成本效益、易於維護和廣泛的工藝選擇使得它成為先進的半導體制造和CMP應用的理想選擇。
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