二手 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat #9278672 待售

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat是一款高性能、先進技術的蝕刻器和asher,能夠在各種不同的基板中產生高精度、復雜的3維特征。FUSION山貓利用先進的ICP-RIE（感應耦合等離子體反應性離子蝕刻）和O3-SE（臭氧支持蝕刻）蝕刻工藝相結合，在芯片、金屬和復合材料等基材中實現精確、高分辨率的圖樣清晰度。MATRIX山貓蝕刻系統由三個獨立的室組成，每個室都有自己的一套功能。第一室是塗層機器人，負責將晶片自動連接到適當的塗層上。第二個腔室是asher，利用深紫外線（UV）光精確暴露目標材料。第三室是蝕刻器，利用ICP-RIE或O3-SE蝕刻工藝對材料進行精確蝕刻。三個山貓室中的每一個都配備了廣泛的可調參數，允許精確控制AXCELIS山貓的蝕刻和灰化工藝。這些參數範圍從微波源的功率水平、蝕刻/灰化氣體的流速、氣體成分、蝕刻/灰化持續時間、施加到電極上的電壓以及壓板溫度。每個參數都可以獨立調整，以達到每個蝕刻作業的最高精度和質量。AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat還配備了先進的數據處理系統，允許用戶對其所有蝕刻和灰化過程進行編程和監控。該軟件允許用戶存儲和比較蝕刻結果，修改參數，並根據需要進行即時更改。該系統確保整個蝕刻過程以可重復和受控的方式進行。總體而言,FUSION Bobcat是當今市場上最先進的蝕刻器和蝕刻器之一,具有一系列可調特性,非常適合高精度和高質量的蝕刻和蝕刻。MATRIX Bobcat非常適合制造先進的電子元件和基板，或者為專門的應用創建復雜的3維結構。