二手 AXCELIS / FUSION MTL-200A #9083200 待售

AXCELIS/FUSION MTL-200A是由FUSION Technologies Inc.設計制造的先進等離子體蝕刻器/Asher,它使半導體工業能夠精密、精密地處理復雜、細膩的結構。這一最新型號FUSION MTL-200A設計用於廣泛的過程,包括蝕刻、灰泥、摻雜劑植入以及其他晶圓表面處理和修改。AXCELIS MTL-200A等離子體蝕刻器/asher具有先進的多站配置,可優化使用和靈活性。MTL-200A可以處理單面和雙面晶片配置,允許同時處理多個晶片,從而提高效率和吞吐量。此外，AXCELIS/FUSION MTL-200A采用先進的雙模等離子體源，嵌入式精密角楔形電極，用於控制蝕刻和灰化過程。精密的等離子體源可以在非常細膩的結構中進行深度均勻的蝕刻，而不會損壞晶片的表面。另一方面，Ashing在蝕刻特征之間精確操作，為隨後的晶片處理創建幹凈的晶片表面。FUSION MTL-200A優越的設計也確保了蝕刻工藝參數的準確性和可重復性，如溫度、壓力和氣流。等離子體電源與氣體輸送系統相結合提供了高度的控制，以確保蝕刻和灰化的最佳條件。除了強大的等離子體技術，AXCELIS MTL-200A的先進軟件系統允許高度的過程控制和跟蹤。該軟件包括用於全過程監視和分析的高級映射和診斷功能,以及可選的APC/EPC功能。這些功能使用戶能夠監控過程周期中的所有操作參數,分析每個蝕刻/灰分過程的詳細信息,並優化配方參數以提高輸出和產量。總之，來自AXCELIS的MTL-200A Plasma Etcher/Asher是半導體工業的一個強大而高效的工具。其先進的多站配置、精密的等離子體源、優越的軟件系統相結合，提供精準、可重復、均勻的蝕刻和灰化，產率優越。