二手 AXCELIS / FUSION MTL-200A #9087725 待售

AXCELIS/FUSION MTL-200A是蝕刻器/asher。它是一種高精度、高功率、幹燥蝕刻設備，專為滿足半導體器件制造的各種要求而設計。FUSION MTL-200A能夠使用感應耦合等離子體蝕刻各種材料，包括矽、砷化的、多晶矽的、碳化矽的和金剛石的。Ashing也是AXCELIS MTL-200A的選項。其先進的工藝能力可節省材料,減少循環時間和能源消耗,提供出色的蝕刻效果,並將材料損失降至最低。MTL-200A的模塊化設計使其易於升級和擴展以滿足未來的流程要求。它的設計基於經過現場驗證的利用所有PLC邏輯的技術,允許使用堅固、可靠且維護最少的系統。用戶友好的HMI界面允許簡單的參數差異和過程應用，而各種選項則允許用戶根據特定的過程要求定制其單元。此外,AXCELIS/FUSION MTL-200A的內置診斷功能可以立即提醒用戶任何設備或流程故障,從而減少停機時間和整體流程成本。最後,FUSION MTL-200A具有多種安全功能和措施,為流程的開發和完成提供了高效、安全的環境。它配備了專用的可編程邏輯控制器（PLC）以確保正常運行,以及集成式氣室壓力監測機和自動壓差警告工具（PDW）以提高安全性。此外,它的控制和監視功能以及資產驗證可提供實時反饋和過程控制,從而實現準確的過程性能。總體而言，AXCELIS MTL-200A是制造半導體器件的高效、可靠、安全的蝕刻器/灰化器。其先進的特點，易於維護和操作，以及安全防護，使其成為所有蝕刻和灰化需求的理想選擇。