二手 AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320 #293822275 待售

AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320是為先進的納米加工工藝而設計的專用蝕刻和灰化設備。它是為晶圓和基材的薄膜蝕刻開發的高精度系統。該裝置能夠提供清潔、受控的蝕刻，這對於當今高精度的納米加工工藝至關重要。FUSION RadiantStrip 320是一個工藝室，提供獨特的設計，最大限度地減少等離子體負載。它旨在在高蝕刻速率下實現低腔室壓力。腔室的配置允許對多個工藝參數進行優化，並能可靠地提供高質量的蝕刻結果。機器使用高純度、高壓惰性氣體作為形成等離子體的氣體和低壓射頻發生器在室內產生等離子體。然後用等離子體蝕刻基材。該工具還提供低電壓和能耗。此外,AXCELIS RadiantStrip 320還可以提供良好的重復性和出色的均勻性.該資產為用戶提供各種工藝配方，如快速熱退火、聚酰亞胺蝕刻、氮化矽蝕刻、金屬薄膜蝕刻等。每個配方都可以配置溫度、壓力、功率和流量等參數。它還支持非標準流程配方，允許用戶為特定應用自定義流程。RadiantStrip 320還提供強大的安全功能。它配備了雙室真空互鎖模型，確保安全的工作環境。設備還包含一個ESD保護電路，防止ESD激增沖擊蝕刻過程。總體而言,AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320是一個先進的蝕刻和灰化系統,能夠提供幹凈、精確的蝕刻和灰化,並具有可重復和統一的結果。該單元為用戶提供了廣泛的應用程序組合和可定制的配方,以及保護員工免受ESD激增影響的多功能安全功能。它是高精度納米加工工藝的理想選擇。