二手 AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320ES #293625715 待售

AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320ES是專門為高級陣列應用設計的hpa蝕刻/灰燼設備。該系統采用先進技術,能夠處理200 mm至300 mm的晶圓尺寸。它具有兩個獨立的、高性能的端站過程單元和兩個獨立的負載鎖定模塊，以減少學習曲線和最大程度地減少誤解。FUSION RadiantStrip 320ES提供高生產率和特征高度均勻性。它具有更新的用戶界面,可提供出色的控制、詳細的流程升級功能以及對設備工作溫度和事件的直觀可見性。此外,AXCELIS RadiantStrip 320ES支持一系列高級工藝,包括深層反應性離子蝕刻、納米圖案處理和化學機械拋光。RadiantStrip 320ES機還包括一臺先進的渦輪分子泵,該泵經調節可確保恒定的腔室壓力環境,能很好地減少光掩模密度的過程引起的CD變化,以及降低高長寬比的特征損耗。其集成的遠程等離子體源以極低的頻率提供了極好的均勻性，旨在最大限度地減少其他蝕刻系統中發現的來自高功率等離子體源的過程退化。它還具有先進的單晶片冷卻功能，以優化熱預算和減少缺陷。AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320ES還具有高級升級功能,允許定制該工具以滿足客戶的需求。它具有一系列選項,例如附加的端站單元、短的etc/ash工具、狹窄的間隙工具和附加的過程模塊。FUSION RadiantStrip 320ES非常適合許多高級陣列應用,包括高級內存和設備開發,以及薄膜晶體管制造。AXCELIS RadiantStrip 320ES采用最優質的材料設計,是一項可靠的資產,可提供卓越的效果,同時提供過程連續性和高生產率。RadiantStrip 320ES具有先進的工藝技術和允許客戶定制其系統的靈活性,對於需要高效可靠的蝕刻/灰燼模型來滿足其生產需求的任何人來說,它都是一個極好的選擇。