二手 AXCELIS / FUSION Rapidstrip 210 #293632717 待售

AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210是一款高度先進的蝕刻器/asher,專為高速、精確的蝕刻和ashing任務而設計。該設備采用反應性離子蝕刻（RIE）、化學氣相沈積（CVD）和濕工藝的組合。FUSION Rapidstrip 210有兩個內置的蝕刻室，一個用於反應性離子蝕刻過程，另一個用於化學氣相沈積過程。針對不同的蝕刻和灰化要求對這兩個系統進行了優化。該設備能夠將表面蝕刻到0.2 μ m的分辨率,從而獲得非常精確的結果。它在低至0.1 mbar的工作壓力下運行，可以配置為處理先進材料如矽、III-V材料和有機物。此外,AXCELIS Rapidstrip 210憑借其先進的自動加載功能,可以實現非常高的吞吐量。串聯晶片盒式裝載機在裝卸物料時可以節省時間，而自動化過程控制系統簡化操作，降低人為錯誤的風險。機組還配備了多種安全功能，確保機器安全高效運行。它具有用於監測氣流和腔室壓力的集成安全控制器，以及用於防止電磁幹擾的EMI濾波器。它還具有針對電壓錯誤的反極性保護和當機器遇到錯誤時緊急程序停止。為了進一步加強其運作，Rapidstrip 210設計方便用戶。其直觀的圖形用戶界面（GUI）可輕松瀏覽各種任務。此外,用戶可以選擇特定的食譜,存儲和訪問常用食譜,並回顧過去的過程,支持他們為所需的蝕刻或灰化過程設置食譜。總體而言,AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210 蝕刻器/asher是一種高級工具,專為高速、精確的蝕刻和灰化任務而設計。憑借其用戶友好的GUI、多種集成的安全功能、高精度和高吞吐量功能,它非常適合各種蝕刻和灰化要求。