二手 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9252297 待售

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320是一款蝕刻器和asher，用於電子、汽車、生物醫學和納米技術等行業。在拆卸各種基材（包括金屬、電介質和有機物）方面，蝕刻器和asher提供了出色的性能。FUSION RapidStrip 320提供了無與倫比的工作效率,並提供了可擴展的平臺,使用戶能夠在不影響質量的情況下提高吞吐量。AXCELIS RapidStrip 320配備了真空室，為待處理材料提供了一個受控且無汙染物的加工環境。它能夠處理大的基板負載，能夠處理多達200毫米的晶圓。真空室用來將基板固定在適當的位置，而廢水收集器則會捕獲蝕刻過程中被去除的任何材料。腔室還裝有靜電卡盤（ESC），負責確保原位電極供應。ESC還消除了材料在加工過程中移動的任何機會,進一步提高了精度和吞吐量。RapidStrip 320具有廣泛的蝕刻功能,包括但不限於：基於矽的深層蝕刻、有選擇地去除厚或非常薄的材料層以及優化的交替金屬層蝕刻。其獲得專利的冷等離子體技術減少了底物損傷，並確保了由於改善了離子-能量分布而導致的均勻蝕刻。AXCELIS/FUSION RapidStrip 320的灰光機用於實現材料圖樣的均勻沈積。這允許用戶實現內存和處理器包的精細陣列。Asher有一個易於使用的GUI，允許用戶設置配方和程序基板傳輸。FUSION RapidStrip 320在蝕刻和灰化功能方面均提供卓越的性能。它可以快速準確地拆解各種材料，沈積光刻膠進行圖樣制作，並執行需要精確控制的過程。AXCELIS RapidStrip 320具有高效的真空系統、大的基板載荷和獲得專利的冷等離子體技術,是一個可靠且經濟實惠的解決方案,適用於一系列行業。