二手 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9298289 待售

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320是一款先進的蝕刻器/asher工具,專為高選擇性、可變溫度和壓力以及快速的工藝速率而設計。它能夠處理多種基板，如矽、復合系統和GaAs。此工具提供了廣泛的高真空蝕刻速率,包括淺蝕刻（<10nm）、亞微米和深蝕刻（<20 µm）。其精確的過程控制使用戶能夠實現高度可重復的蝕刻配置文件。該工具利用獨特的工藝室幾何實現多相處理功能。這允許同時蝕刻多種基材和統一開發復雜的工藝型材。腔室在整個加工過程中還提供低磁場，從而使工藝更加清潔可靠。FUSION RapidStrip 320具有獨立的工藝室（前部和後部）,具有可變的溫度和壓力設置,使用戶可以完全控制蝕刻過程。該工具還具有用於厚度監測或犧牲材料沈積的沈積端口。該室還提供與其他AXCELISelements的完全連接，如遠程監視器、實時流程數據記錄以及可重復和可靠蝕刻流程的流程配方。AXCELIS RapidStrip 320的快速平版印刷功能允許以高達每分鐘4個晶圓的吞吐量和高達10nm的分辨率快速準確地打印圖樣。它還通過實時監控和全晶圓級工藝配方提供了與工藝控制的高級蝕刻工藝集成，以精確控制工藝端點和可重復性。RapidStrip 320是一款典型的設備,它采用最新的工藝控制和監控技術提供用戶友好的操作,實現了可重復和可靠的蝕刻過程。這種功能的組合使其成為市場上功能最強大和最先進的蝕刻器/分類器之一。