二手 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9329249 待售

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320是一款高性能的蝕刻器/asher設備,旨在有效剝離薄膜並產生低至亞微米尺寸的高精度、高縱橫比結構。它是為制造先進的納米級集成電路、光電和微波/射頻器件而設計的。FUSION RapidStrip 320系統采用先進的模塊化設計,可提供靈活性並適應客戶需求和流程的變化。該單元包括一個高壓化學輸送機和處理不同化學品的能力取決於應用和材料被剝離。該工具使用空氣或高壓化學通量清潔基板。資產效率高，每分鐘最多可剝離兩個晶圓，蝕刻後剩余的多余材料最少。它還具有高分辨率CCD攝像機，視野廣闊，能夠精確監測工藝參數。這使用戶能夠監視每個蝕刻過程的進度。AXCELIS RapidStrip 320型號可靠,包含多個冗余,包括高壓總機和多個故障安全真空室。其機載計算機和控制設備可以對工藝參數進行精確的監測和控制。它還具有內置的校準和測試活動,以實現關鍵工藝參數的自動化和可靠維護。該系統為過程更改和配置蝕刻過程參數提供了靈活性,包括溫度、蝕刻速率、氣流和功率級別。板載軟件允許完全控制流程參數。借助RapidStrip 320設備,用戶可以輕松調整處理時間和吞吐量。AXCELIS/FUSION RapidStrip 320機器使用方便、可靠、經濟實惠。它具有先進的設計、靈活性和高精度的結果，是處理先進、納米級集成電路、光電和微波/射頻器件的理想工具。