二手 AXCELIS / FUSION Rapidstrip #293632719 待售

AXCELIS/FUSION Rapidstrip是專門為各種半導體應用而設計的蝕刻器和asher。它旨在以具有競爭力的價格提供業界領先的蝕刻速率和優越的表面平面度。這種設備是為處理200毫米和300毫米晶圓而設計的，精度和精確度最高。蝕刻/灰化室是為真正的平行板蝕刻能力而建造的，允許增強靈活性和過程控制。腔室由高壓渦輪分子泵驅動，能夠以5 × 10-7 Pa的特殊底壓運行，泵送速度高達20升/秒。該工藝氣體閥設計包含六個獨立組合的氣體輸出，同時擁有85標準升/分鐘的最大氣體流量。在過程控制方面,FUSION Rapidstrip具有可調功率控制範圍的0-550W,最大蝕刻速率為5A/min,並且配方文件能夠將多達32 K的因子存儲到內存中。整個晶片的均勻度輪廓在3%的偏差範圍內是平坦的，總厚度均勻度為4-7%。材料板、焦環、點火器均采用不銹鋼制成，使蝕刻器和灰化器具有很高的耐用性和可靠性。該設備還有一個內置的冷卻/清潔系統，以達到最佳性能，並具有保護環境的氮氣/氧氣能力。AXCELIS Rapidstrip與多種有機、無機、含金屬材料、各種基材、多種尺寸兼容。它還允許蝕刻最深的溝槽和最微小的氛圍，並符合半導體行業接受的最高質量標準。綜上所述，Rapidstrip是一款功能極其強大、可靠的蝕刻器和asher，能夠滿足半導體客戶最復雜的要求。