二手 AXCELIS / FUSION WSI #9083198 待售

AXCELIS/FUSION WSI是一種蝕刻器/asher設備，設計用於蝕刻和灰晶片級集成電路（IC），具有高達300毫米晶片。它提供了一套功能以實現快速晶片處理,包括多流程、多腔室和多配方處理功能。FUSION WSI系統由蝕刻反應器和asher兩個主要元素組成。蝕刻反應器同時提供電感耦合等離子體（ICP）和自由基等離子體，將集成電路模式蝕刻到晶圓表面。ICP蝕刻過程的選擇性比非常低,因此可以創建清晰的高清模式。ICP還用於在多個層和大面積上蝕刻關閉墻應用程序。這種灰化器使氟基和金屬基的灰分工藝都可以使用。這使得各種不同的摻雜劑、它們的濃度和氧化物被精確地放置在IC上，從而能夠實現所需的電特性。AXCELIS WSI單元可實現節省時間的多晶片批處理。它能夠同時處理多達六個晶片,從而實現高吞吐量生產。機器還有一個直觀的用戶界面，簡化了設置機器的任務。自動化軟件確保工具獲得可重復的結果，用戶可以為每個層設置過程的參數，以實現他們想要的最終產品。在配方管理方面,資產還提供了靈活性,允許用戶保存和召回不同流程的配方。這樣可以輕松地在多個運行中復制結果,從而確保批次之間的性能一致。WSI型號還提供出色的安全功能,包括一個獨立的RF存儲模塊,使人員遠離工藝區域。該設備還設計為以最少的維護運行，確保高可靠性和較長的系統壽命。總體而言，AXCELIS/FUSION WSI單元為晶片級集成電路的蝕刻和灰分提供了高度準確可靠的結果。它是一臺用途廣泛且可靠的計算機,為用戶提供快速的安裝時間、高吞吐量、可重復的結果以及對過程的精確控制。