二手 AXCELIS / FUSION WSI #9087726 待售

AXCELIS/FUSION WSI是一種先進的蝕刻/灰燼設備,旨在消除手動蝕刻工藝和機載蝕刻/灰燼系統的需要。FUSION WSI系統使用深層紫外線激光器、高功率射頻源以及氣體和化學輸送裝置的組合。該機還配備了自動洗室工具，以經濟高效的方式在每次蝕刻或灰燼循環後快速可靠地清潔洗室。此集成資產提供了高吞吐量、高均勻性和工藝解決方案,能夠實現各種薄膜尺寸和形狀。該模型能夠在廣泛的材料上產生精確的圖樣，包括GaAs、矽、多晶矽、SiGe和氮化物。AXCELIS WSI設備由多種材料提供動力，包括氣體、液體和等離子體源。該系統能夠提供精確和可重復的工藝配方，也為用戶在編程蝕刻和灰分配方時提供了更大的靈活性。高功率射頻源用於為GaAs、SiGe和氮化物材料提供精確的等離子體蝕刻。深層紫外線（DUV）激光器被用來有效地開發蝕刻配方，使其能有效地對多晶矽、GaAs等困難材料進行圖樣和蝕刻。WSI單元還具有自動進紙機，允許用戶將晶片精確送入工具。進紙器資產具有防止非均勻性和汙染的綜合抗靜電裝置。AXCELIS/FUSION WSI型號配備了工藝控制,可為各種蝕刻和灰燼工藝提供高精度。該設備還允許用戶快速有效地在食譜之間關閉電源並向上傾斜。斷電和斜坡上升功能可防止過程配方突然發生變化,從而導致有害結果。總之，FUSION WSI系統是一種高度先進的蝕刻器/asher，其設計目的是為各種材料提供精確的蝕刻。該機具有自動化進紙裝置、集成的防靜電和過程控制功能，能夠提供高精度和均勻性的可重復蝕刻配方。它提供了一種經濟高效的方法，以準確的蝕刻和灰分材料與最小的時間消耗量。