二手 AXCELIS Integra #9293674 待售

AXCELIS Integra是一種蝕刻/灰化設備，設計用於制造復雜的集成電路。它基於經過驗證的ABAXIS設計,可提供高水平的可重復性。該系統由四個主要組成部分組成：一個工藝室、一個反應堆、一個探測器和一個蝕刻/灰化工藝頭。加工室是一個溫度和大氣控制的室，包含蝕刻/灰化單元的組件。它旨在為蝕刻/灰化過程提供受控環境,確保溫度、壓力和過程保持最佳管理。腔室本身配有經過優化的真空機，以及自動大氣控制工具，以確保最佳的蝕刻和灰化效果。反應堆負責產生蝕刻/灰化過程所需的聚焦定向能量。它含有一系列帶電的電極，相互作用形成蝕刻/灰化所必需的反應。該反應堆的定制設計是為了確保產生任何特定蝕刻/灰化項目所需的精確能量。檢測器是確保進程正確運行的基本組件,旨在提供每個蝕刻/灰化步驟所需參數的反饋。這樣可以確保可以根據需要監視和糾正蝕刻/灰化過程,以產生最佳的結果。最後,蝕刻/灰化過程頭是實際執行蝕刻/灰化過程的主要組件。其設計能產生一致、精確的蝕刻/灰化結果，並配有高精度噴嘴。這樣可以確保快速準確地執行蝕刻/灰化過程。總之,Integra是一種高度可靠、功能強大的蝕刻/灰化資產,旨在處理即使是最復雜的設計的復雜性。專有反應堆確保為任何給定的過程產生精確的能級，而自動大氣控制和探測器則保證該過程順利運行。最後,蝕刻/灰化工藝頭的設計可產生統一、精確的結果,確保每次都能獲得最高質量的產品。