二手 AXCELIS Integra #9389490 待售

AXCELIS Integra是一款先進的幹蝕刻設備，旨在為大型化合物和單晶半導體晶片提供蝕刻處理能力。它能夠使用常規化學氣相沈積（CVD）或等離子體沈積進行蝕刻。Integra系統將允許用戶按順序蝕刻多層,從而實現對各種功能材料的高分辨率蝕刻。該單元采用了一個創新的設計，詳見光學和光子學技術手冊，第二版。機器由兩個部分組成：一個腔室和一個電源.該腔室包含高真空環境，用於蝕刻加工，並配有可調節的快門，以防止環境汙染。電源由直流鏈路逆變器和交流/直流電池組成，兩者均能提供高達7 kV的功率。該工具使用戶能夠通過電源的控制來調整蝕刻速率，從而實現高工藝效率和靈活性。最新的光刻和蝕刻子系統為AXCELIS Integra提供了動力,形成了一個集成的解決方案,可提供無與倫比的性能和可靠的蝕刻結果。該資產能夠蝕刻高達20 nm的薄層,其工藝深度一致性高於2%。蝕刻工藝具有廣泛的相容材料，包括銅、氮化零、氮化鋁、矽化多晶矽。有多種蝕刻模式可用，允許用戶微調蝕刻工藝，以優化分辨率、產量和其他工藝參數。Integra模型還具有增強的安全功能,如主動氣體監測設備、自動緊急停止和過溫警報。這些安全系統確保用戶得到充分的保護，免受任何危險過程和材料的傷害。此外，該系統符合NRTL，意味著它符合國家消防協會和UL的要求。AXCELIS Integra單元是任何需要可靠蝕刻並精確控制蝕刻過程的半導體應用的理想蝕刻解決方案。憑借其創新的設計、可調的蝕刻速率、廣泛的兼容材料以及增強的安全特性，Integra是任何蝕刻或加工任務的絕佳選擇。