二手 AXIC HF-8 #9124396 待售

AXIC HF-8是一種用於半導體工業的蝕刻器和asher。該裝置適用於等離子體蝕刻、氧化、摻雜劑擴散和材料表面蝕刻等應用。它具有5-Zone的熱質量流量控制、原位臭氧監測儀和內置接口。隔熱蝕刻室由不銹鋼構成，是獨立的，以防止潛在的汙染。腔室配有金剛石等離子體源，提供最大的電弧穩定性和均勻的等離子體分布。還包括一個自動石英鎖載室，可以控制基板的進出。AXIC HF8提供了廣泛的工藝參數，包括熱快速均勻性和均勻工藝深度。可以根據所需的應用程序調整這些參數以獲得最佳結果,從而確保可重復性和提高過程產量。原位臭氧監測儀允許自動控制臭氧的計量和清除，以保持最佳工藝環境。該單元包括一個內置界面，提供一個易於使用的圖形用戶界面，允許操作員精確調整流程參數。還包括各種配方存儲功能和數據記錄功能。HF-8系統可以連接到遠程計算機,以便於數據傳輸,從而能夠監控和分析過程參數。HF8是一個通用系統，可用於各種行業，包括半導體、太陽能和醫療設備制造。其體積大，設計高效，因排氣水平低，適合潔凈室環境。系統的自動化操作和內置接口有助於確保可重復性、準確性和可靠的流程結果。