二手 AXIC Multimode HF-8 #107384 待售

AXIC Multimode HF-8是為滿足矽基材料的嚴格要求而設計的聚酰亞胺蝕刻/asher。它利用射頻、等離子體和反應性離子蝕刻（RIE）工藝的組合，實現蝕刻選擇性和高蝕刻速率。這種多模式蝕刻/asher能夠提供快速、均勻、可靠且質量卓越的工藝。該設備提供均勻的等離子體和RIE工藝，具有廣泛的蝕刻化學和基材選擇。利用NF-8的掃描系統和精密機械階段,還可以在最少的工藝步驟中蝕刻各種材料和深度。同樣高效的排氣裝置為更可靠的工藝提供了卓越的清潔和顆粒控制。高性能的自動裝卸機最大限度地減少了總循環時間，提高了生產率。除了NF-8的等離子體和RIE過程外，該工具還提供了一個過程中的終點（EP）監視器。此功能使蝕刻器能夠檢測到蝕刻過程的確切完成,從而防止成本高昂的過度蝕刻。多模 提供各種臭氧蝕刻化學物質以及各種RIE化學物質，如 、 、SF6和 ，使資產用途極為廣泛。模型中的其他功能包括集成冷卻設備、圖形用戶界面和全自動排氣系統。AXIC Multimode HF-8在擴展的蝕刻參數範圍內為用戶提供了可重復性和可靠的蝕刻性能。它還提供了一個簡單的用戶界面和自動化設置,可縮短處理時間並提高多個蝕刻周期的準確性和一致性。總體而言,Multimode HF-8是一種用途非常廣泛的蝕刻器和asher,可用於任何需要快速、精確和可靠蝕刻結果的應用程序。AXIC Multimode HF-8由於其可靠的性能、卓越的多功能性和易用性,非常適合從蝕刻多級集成電路到封裝和MEMS的廣泛應用。