二手 AXIC Multimode HF-8 #9171691 待售

AXIC Multimode HF-8是一種用於高頻電路制造的現代蝕刻器/asher。即使是最復雜的微加工工藝,HF-8也能提供快速、均勻的蝕刻和灰化時間。該設備采用550W高頻感應源系統，將處理直徑不超過8英寸的基板。感應源和腔室設計提高了工藝的均勻性和可重復性。該HF-8還配備了數字引擎，允許基於時間的、精確的蝕刻和灰化過程。數字引擎包括一個可編程溫度控制單元，用於精確控制目標值± 2°C以內的溫度。這樣可以通過不同的工藝配方獲得一致的結果,從而確保可靠的設備性能。該機器還提供了蝕刻器/asher和配方管理軟件之間的通信，從而便於定制和選擇工藝配方。該HF-8配備了用於高效輸送蝕刻和灰化氣體的RVF氣體輸送工具，以及用於超純前體和消除產品的DI/UPW腔室。N2載氣也與工藝室完全隔離，不需要外部載氣供應。該資產包括一個完全計算機化的觸摸屏界面，用於監測和顯示流程數據。隨附的圖形軟件允許用戶目視監視和控制蝕刻/ashing配方。實時流程監視器允許記錄和記錄用途和配方,從而便於分析和比較不同的流程結果。多模HF-8是精密高頻電路制造的理想模型,它提供了比傳統蝕刻和灰化工藝更好的過程控制、統一的結果和更大的靈活性。