二手 BAL-TEC BAF060 #9247281 待售

BAL-TEC BAF060是半導體工業中為精密蝕刻和灰化而設計的蝕刻器/灰化器。它提供了較高的蝕刻速率、均勻性和具有較大晶圓面積的選擇性。這臺機器能夠為要求最苛刻的工藝要求提供高達3微米或更少的蝕刻選擇性，從而為最先進的半導體產品制造先進的體系結構。BAF060具有三軸運動設計,可確保準確性和可重復性。每條軸行進長達1.5米，由高精度線性驅動電動機驅動，使得循環時間非常短。設備配有多級監控系統，監控整個單元，控制蝕刻/灰化過程。BAL-TEC BAF060還有一臺內置計算機,它存儲食譜和食譜信息,允許根據特定要求定制蝕刻/灰化過程。這對生產光伏、MEMS等先進半導體結構尤其有利。內置計算機還充當「實時」控制中心，不斷監控機器，確保過程正確進行。BAF060配有各種加工氣體，可供應到蝕刻室，提供完整範圍的加工氣體，用於精確蝕刻和灰化。氣體以閉環工具輸送，確保加工氣體的均勻流動和蝕刻室內的原始環境。這使BAL-TEC BAF060能夠在單個蝕刻和灰化過程中提供最佳結果。BAF060過程非常方便用戶,允許用戶進行自動化和監控。用戶可以逐步監視整個過程,並在需要時對資產進行手動命令。這樣可以快速校準、診斷和優化流程。總體而言，BAL-TEC BAF060是精密蝕刻和灰化工藝的一個非常復雜和可靠的工具。它具有均勻的蝕刻速率、可重復性和選擇性，適用於大面積半導體結構。此外,用戶友好的流程和眾多的運營優勢使BAF060成為半導體行業的寶貴資產。