二手 BAL-TEC RES010 #171772 待售

BAL-TEC RES-010是一種精密的臺式蝕刻/灰化系統，設計用於中大規模基板加工。是研究開發電光晶體和玻璃蝕刻、薄膜蝕刻化學、MEMS器件蝕刻、半導體粉刷剝離等工藝的理想選擇。該系統由五個主要組成部分組成；一個主機，一個電源，一個臺式，一個加工室和一個冷卻劑供應。主單元容納加工室，由上下室組成，為蝕刻面罩提供光源。電源和臺式臺面裝有數字顯示屏，便於調整蝕刻參數。該工藝室的設計允許垂直和橫向流動或介質入口和出口，這使得該工藝用途廣泛，效率高。集成的冷卻劑供應確保了最佳和穩定的工藝溫度，而全封閉的保溫材料在加工周期中保持了腔室的溫度穩定。這保證了基板在比周圍環境高得多的溫度下加工，也能夠達到亞微米特征大小。BAL-TEC RES-010有一系列特定於流程的配方，可以快速、輕松地存儲和召回，方便定制每個配方，並對流程擁有完全的控制權。它還具有全自動石英晶體監視器，允許用戶跟蹤蝕刻進度，同時確保蝕刻正確進行。該蝕刻器裝有渦輪分子泵，在較寬的蝕刻面積上實現最佳均勻性。BAL-TEC RES-010提供出色的蝕刻均勻性和可重復性,使其成為中大規模工藝的理想工具。這使得它適合從半導體到微電子器件的行業，每次都提供可靠的結果。該系統還通過其PEEK加固墻和出色的保溫材料保證安全，以最佳地防止意外的熱沖擊和應變。