二手 BALZERS BAF 400 #9016405 待售

BALZERS BAF 400是由BALZERS製造的高性能Plasma Asher系統。它專為研究和工藝集成而設計，能夠進行反應性離子蝕刻（RIE），以及對各種基板上的厚薄膜和薄膜進行粉刷和清洗。該系統利用專有的電感耦合等離子體（ICP）源,能夠進行多種過程,包括O2、SF6、CF4和Ar等離子體蝕刻。ICP源具有更好的穩定性和工藝靈活性,可以更精確地控制工藝參數,從而獲得優異的清潔和蝕刻效果。組成BAF 400的組件是完全集成的,旨在協同工作,提供可靠性和可重復性。系統配備了參數控制控制器和在腔室壓力超過一定極限時自動關閉等離子體的真空互鎖。此外，BALZERS BAF 400具有高溫蝕刻功能，允許在高達185 °C的溫度下蝕刻材料。在蝕刻過程中可以調整壓力、射頻功率和氣體流量等多種工藝參數。腔室配有用於氣體管理的入口和出口，能夠快速、均勻地使用加工氣體。腔室還可以連接到外部真空泵，以有效排出反應性氣體。BAF 400還裝有溫度範圍在-20至+100°C之間的加熱淋浴板，用於安全可靠的處理。包括保形塗層特征,允許在樣品上均勻塗層.BALZERS BAF 400具有精確的控制參數和多用途的特點，是研發和工藝集成應用的絕佳蝕刻解決方案。其可靠性和高蝕刻質量使其成為任何實驗室或生產環境的寶貴補充。