二手 BALZERS / INFICON LFC 150 #9279137 待售

BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150是一種蝕刻器或Asher，專為在大大小小的基材區域上精確、超快的鎢蝕刻和重金屬灰化工藝而設計。它是當今市場上最先進的蝕刻系統之一，是一種非常可靠和具有成本效益的工具，已經集成用於IC制造、MEMS和半導體應用等先進的微加工技術。該蝕刻器由一個強大的CO2激光設備和一個精密的二次諧波諧振器組成，其設計目的是提供最高的蝕刻精度和最小的熱降解。BALZERS LFC 150配備了兩個獨立的激光束和一個高精度的多軸舞臺，對蝕刻過程提供精確的控制。這兩種激光器可以被編程為同時執行相同的蝕刻周期，提高生產率，並允許更精確的蝕刻用較少的時間和精力。該級還配備了溫度控制系統,該系統有助於確保工作溫度保持在0-30°C之間,並配備了一個可使基本壓力達到40毫巴的真空裝置。真空機的設計目的是迅速消除加工室的汙染，從而提高蝕刻產量和長期精度。該工具還包括一個控制軟件和PC接口，可用於輕松編程和監控蝕刻過程。這使得蝕刻過程不會中斷，所有參數如激光爆發開/關、激光強度、蝕刻輪廓和蝕刻區域都可以立即改變。此外，該資產擁有一系列專門的探測器，以持續監測蝕刻過程，確保最高質量的結果。INFICON LFC 150是各種先進微加工應用的理想工具，如高端設備、MEMS和IC制造。其精密蝕刻和卓越的ashing功能,以及高級自動化,提供了高效、用戶友好的蝕刻工具,並具有可靠的結果。