二手 BALZERS / INFICON LFC 150 #9289483 待售

BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150是一種先進的蝕刻/asher系統，用於半導體工業生產高質量的元件。這種工業級機器經過專門設計，能夠提供精確的蝕刻結果，並最大限度地減少循環時間。BALZERS LFC 150具有強大而可靠的熱氧化系統,使用戶能夠自定義ashing操作。這使得蝕刻均勻零件更容易達到精確的規格，同時將氧化對組分的影響降至最低。精確的溫度控制和可調節的氣氛相結合，提高了工藝一致性和產品質量。INFICON LFC 150利用先進的信號解碼和過濾技術,使設備能夠以高達40MHz的速度執行關鍵過程。這種快速的灰化產生了高質量、可重復的部件。此外，智能精礦系統可確保對蝕刻劑濃度的精確控制，從而實現高效和一致的蝕刻。為了進行蝕刻，LFC 150安裝了可靠的雙等離子體火炬頭，以確保可靠的熱脈沖產生。脈沖寬度可以根據需要進行調整，通過集成工藝速率監測器可以進一步優化蝕刻工藝。在安全性方面，BALZERS/INFICON LFC 150設計為在閉環系統下運作，即使在微觀裝置工作時也能確保低風險的環境。該裝置還根據國際氣體安全標準進行認證，確保不使用易燃氣體。BALZERS LFC 150最先進的功能、可靠的性能和以安全為中心的特性使其成為生產下一代半導體元件的理想選擇。