二手 BALZERS / INFICON LFC 150 #9298823 待售

BALZERS/INFICON LFC 150是一種多功能蝕刻器或灰化器，旨在以高度可靠和可重現的方式蝕刻和灰化各種樣品。這種設備設計用於實驗室或半導體工業，占地面積小，非常適合小型空間。BALZERS LFC 150由一個由不銹鋼罐構成的集成工藝罐組成，其中包含一個自動化的化學品輸送和廢物管理系統。罐內的流體由高壓泵機提供，也可以通過單獨的反應室機進行補充，允許進行多步處理。集成工具包括必要的過程電源,以及用於精確控制蝕刻和/或灰化過程的能量和溫度控制資產。此外,控制模型還連接到真空設備,該設備可用作蝕刻和/或灰化的替代工藝控制。INFICON LFC 150進一步配備了多種過程監視器，例如壓力、溫度、電壓和大氣壓計，以及廣泛的其他安全特性，可以在過程中監視潛在的危險情況。此外,該設備還具有自動過程控制功能,可實現快速高效的操作,並可減少用戶對蝕刻和/或灰化過程的監控。LFC 150還能夠通過流量控制、氣流控制、溫度和電源控制、蝕刻速率以及過程啟動和停止時間等可調特性來精確控制蝕刻和/或灰化過程。此外,還可以配置和定制系統以滿足特定需求或應用程序,例如為可重復的流程提供配方存儲。BALZERS/INFICON LFC 150提供可靠和快速控制的蝕刻和/或灰化工藝,具有出色的可重復性,並且覆蓋了厚薄樣品材料。此單元用戶友好、經濟高效、安全,並提供出色的流程效果。