二手 BALZERS LFC 150 #9258235 待售

BALZERS LFC 150
ID: 9258235
Plasma cleaner.
BALZERS LFC 150是一種高精度的蝕刻器/asher,設計用於動態特征尺寸低至500微米的基板的蝕刻/灰度。設備配備了自動基板裝載機,以提高工藝速度和精度。LFC 150包括用於微加工的雙束激光器,其中一個聚焦在樣品上,另一個直接聚焦在基板上。激光光束用於汽化、燒蝕、灰化和蝕刻過程。梁的尺寸可調整以適合特定的應用。此外,機器的光束可以精確對齊,以確保精確蝕刻。蝕刻器/asher利用惰性氣氛,以極高的精確度取得優異的蝕刻效果。惰性大氣層由氮氣、氙氣和氧氣組成,有助於確保表面材料的均勻燒蝕。可以根據樣品大小和材料來調整蝕刻溫度,防止表面損壞。該機可進行反應性離子蝕刻、離子束蝕刻、化學蒸氣蝕刻和等離子體蝕刻等多種蝕刻工藝。配備了控制系統,對蝕刻參數進行精確控制。參數可以針對不同的過程進行調整。BALZERS LFC 150還設有一個內置安全單元,以保護操作員免受潛在危害。該機器配有傳感器,用於檢測任何故障或不規則操作,以便操作人員即使在危險環境中也能保持安全。總體而言,LFC 150 蝕刻器/asher是一種功能強大且可靠的機器,能夠以非常高的精度蝕刻和灰分基板。它結合了強大的激光束、惰性大氣、先進的控制系統和全面的安全機器,使其成為小型和大型應用的理想選擇。
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