二手 BALZERS / UCP LFC 150 #293799927 待售

BALZERS/UCP LFC 150是半導體和微電子工業中用於等離子體清洗、蝕刻和表面改性過程的專用蝕刻器/asher設備。這種先進的設備旨在以卓越的精度和可靠性提供高性能結果。UCP LFC 150具有最先進的真空室，創造了有利於等離子體生成的低壓環境。該系統配備了一個高頻射頻（Radio Frequency）電源，將工藝氣體電離，創造出一種可用於清潔或蝕刻具有高均勻性和可重復性的基板的等離子體。BALZERS LFC 150的關鍵組成部分之一是氣體輸送裝置，它可以精確控制加工氣體及其流量。這臺機器使用戶能夠量身定制發生在等離子體中的化學反應，以達到特定的蝕刻速率、選擇性和表面性質。氣體輸送工具配有質量流量控制器（MFCs）,可確保整個過程中準確穩定的氣流。資產還包括一個載荷鎖定室，用於在不破壞真空的情況下將基板進出主加工室。此功能通過保持清潔的處理環境,最大程度地減少了汙染並提高了流程的可重復性。負載鎖室配備機械臂或卡帶模型，用於自動基板處理，進一步提高設備生產率和吞吐量。在等離子體生成方面，LFC 150利用雙頻等離子體源增強了工藝靈活性。低頻（LF）和高頻（HF）功率激發的結合允許對等離子體密度和能量分布的控制，實現了廣泛的工藝能力，如灰度、降序、各向同性蝕刻和表面修飾。雙頻等離子體源也有助於系統處理不同類型不同特性的基板和材料的能力。為了監測和控制蝕刻/灰化過程,BALZERS/UCP LFC 150配備了高級過程監控和自動化功能。實時端點檢測、光發射光譜（OES）、質譜是部分集成到該單元中的用於過程優化和故障檢測的診斷工具。此外，該機器還可以與用於配方管理、數據記錄和遠程操作的計算機化過程控制軟件相連接。UCP LFC 150具有用戶友好的功能,易於操作和維護。該工具包括一個具有直觀控件和圖形顯示的用戶界面，用於監視流程參數和資產狀態。室內清潔、更換電極和模型校準等維護任務簡單明了,可輕松訪問關鍵部件和維修端口。總體而言,BALZERS LFC 150是一種用途廣泛且可靠的蝕刻/灰度設備,可為各種半導體和微電子應用提供高性能功能。憑借其先進的過程控制、自動化和監控功能,此設備非常適合研究和開發、試生產以及精度和一致性至關重要的大批量制造環境。