二手 BALZERS / UCP LFC 150 #9261441 待售

BALZERS/UCP LFC 150是半導體工業的蝕刻器/灰化器,能夠同時進行蝕刻和灰化化學操作。它有兩個獨立的噴霧室，非常適合中小型生產運行。UCP LFC 150具有先進的數字控制面板和直觀的用戶界面；用戶可以輕松調整參數、監視系統狀態和生成流程報告。蝕刻器/灰化器能夠將單層或多層薄膜沈積到半導體基板上。室內平均溫度可保持在1°C以內，並可處理高真空和超低壓化學物質。采用濕蝕刻或電鍍等常見行業標準工藝，BALZERS LFC 150可加工鋁、銅、金、鈀、銀、不銹鋼等多種金屬。兩個綜合爐室提供了在高達1200°C的溫度下加工先進材料的靈活性。此外,由於LFC 150具有高速度的均勻性和可重復性,因此能夠提供卓越的品質。蝕刻器/asher還提供強大的遠程監視功能,用於流程優化和控制。集成氣體輸送系統具有高速氣動閥和壓電刻度，使用戶能夠準確監控和控制氣流。另外，BALZERS/UCP LFC 150擁有先進的工藝氣體輸送系統，允許用戶調整氣體分數、類型和壓力水平，以滿足他們的具體要求。除了可靠性和可重復性，UCP LFC 150還具備主動室排氣、遙控互鎖保護、緊急電源關閉等安全功能，使其成為業內最安全的蝕刻/灰化系統之一。BALZERS LFC 150采用尖端技術和先進功能,提供可靠、高質量的蝕刻和灰化服務,適用於各種半導體生產過程。