二手 BRANSON / IPC 2000 #9009136 待售

BRANSON / IPC 2000
ID: 9009136
Plasma processing reactor center.
BRANSON/IPC 2000是一款高性能蝕刻器和asher。它配備了獨一無二的專利清潔設備,使其能夠在每一次蝕刻和灰燼循環中保持高水平的準確性和質量。IPC 2000能夠在400 °F至800 °F的溫度下運行,非常適合許多工業應用。BRANSON 2000的主要部件是蝕刻室、灰室和射頻射頻發生器。蝕刻室由隔熱石英構成,並有嵌入式環加熱器,以維持所需的工藝溫度。此外,還有測量腔室壓力的離子計、管理腔室內氣體含量的供氣控制和測量基板溫度的熱電偶。蝕刻室足夠大,可以加工直徑達6英寸的晶片。灰室有一個獨特的,旋轉的籃子設計,以幫助確保均勻的灰度。射頻發生器是雙頻的,包括一個頻率切換器來調整過程參數,例如蝕刻或灰率。工藝速率可以在時間和功率上進行調整,以滿足所需的規格。2000年還包括多區壓力控制、氧化物蝕刻過度噴霧保護和專用過濾器系統,所有這些都有助於保持單元清潔和確保可重復結果。該機還可以進行超精確的深度蝕刻,最小的熱量和額外的後蝕刻和灰燼清洗最低要求。總體而言,BRANSON/IPC 2000提供了可靠、可重復和準確的蝕刻和灰化過程。它具有在大多數基板上工作的能力,包括玻璃、金屬、陶瓷和矽。這使得它非常適合汽車、電子、航空航天和半導體行業。
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