二手 BRANSON / IPC 3100 #9201709 待售
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ID: 9201709
晶圓大小: 6"
Asher, 6"
Plasma systems: Low pressure
Gaseous plasma: Low temperature
Plasma treatment chambers
Plasma reactions:
Ashing
Etching / Polymer
Surface modification: Quickly / Reproducibly
RF Electrical power
Control: Reactant plasma gases.
BRANSON/IPC 3100是Etcher/Asher,旨在提供精確且可重復的過程結果。這對於需要精密過程控制的行業尤為重要。它具有先進的微處理器和直觀的Windows用戶界面,使設備的操作變得簡單。儀器還配備了實時時鐘、控制器和雙功能氣流控制加熱室。IPC 3100具有強大的810kHz射頻發生器,非常適合各種蝕刻工藝。該系統能夠同時執行方向弧和精確過程控制所需的更困難的底層弧。該單元還具有高級流程監控功能,包括自動縮小流程窗口。這為用戶提供了對日益嚴格的流程參數的更大控制。BRANSON 3100的硬化密封室設計用於清潔水平操作。它還具有石英墻插件,可用於減少汙染和提高生產率。石英壁受控制的大氣環境保證了可重復的等離子體蝕刻過程。這也消除了對外部供氣系統的需求,允許極大的靈活性和過程控制。該儀器由直觀的Windows用戶界面控制,即使對於沒有經驗的操作員來說也很容易使用。機器還包括一些自我診斷和自動化過程,以確保最大限度的過程控制和可靠性。3100是精確和可重復過程結果的理想選擇,對於需要精確過程控制的行業尤其如此。
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