二手 BRANSON / IPC L3100/3 #197758 待售

IPC L3100/3是一種先進的幹式蝕刻器/灰化器,旨在為各種應用程序提供卓越的蝕刻和灰化性能。它與BRANSON專利的IsoGrip™接觸技術集成在一起,以獲得精確和可重復的結果。該機配備了功率強大的高真空渦輪分子泵，極限真空為10-6至10-7 torr，確保在基板上對薄膜層和結構部件進行深度蝕刻。該L3100/3還與BRANSON/IPC獲得專利的IsoGrip環繞式加熱器技術集成在一起,可在廣泛的工作溫度範圍內進行精確的溫度控制和均勻的加熱。這確保了統一的蝕刻過程和優化的過程結果。它還包含一個高吞吐量的載波設備，設計用於處理最多12個載波。這減少了用戶處理,並改善了處理時間。該L3100/3配備了功能齊全的集成控制系統,可實現卓越的蝕刻和灰化性能。它可以用多達四個程序步驟和64個獨立的可編程配置文件進行編程。這在程序定制和過程優化方面提供了最大的靈活性。它內置的實時診斷和全周期日誌記錄功能可確保可重復性和過程控制。機器還具有負載鎖和修改後的負載鎖。載荷鎖的設計是為了保持理想的真空環境，樣品在裝載和卸載的載體。修改後的負載鎖有助於防止損壞敏感樣品。該L3100/3還配備了酸性磨砂膏和等離子體磨砂膏裝置。酸性磨砂機清潔腔室的內表面，而等離子體磨砂機則確保腔壁和邊緣的蝕刻。IPC L3100/3是一種堅固可靠的幹式蝕刻器/灰化器,旨在提供最佳的蝕刻和灰化性能。其直觀的控制和精確的加熱技術使其成為先進蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。