二手 BRANSON / IPC L3200 #9201710 待售
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單擊可縮放
ID: 9201710
晶圓大小: 6"
Descum plasma asher system, 6"
Dual-chamber
Photoresist stripper combines control capability of single wafer processing
With throughput typical of batch systems
Downstream plasma stripping technology
Low-particulate handling / Processing features
Oxygen-only process ensure high yields
Self-diagnostic
Store up to 26 recipes
Dual-cassette system up to 60 six-inch wafers per hour with minimal particle generation.
BRANSON/IPC L3200是一種全功能蝕刻器/asher,旨在為精密元件的蝕刻和灰化提供盡可能高的質量、精度和精度。IPC L3200利用獨特的專有惰性氣體噴射設備,實現精確且可重復的蝕刻/灰分循環,並為用戶提供統一的高質量精加工。BRANSON L 3200有一個堅固的結構，包括一個閉環流體輸送系統，以盡量減少汙染，一個先進的氣體升壓控制，和一個自動隔室功能，以確保最佳的過程控制。該控制單元基於基於Windows的平臺，提供了完整的實時過程跟蹤和精確的循環參數調整。L 3200具有獨特的不觸摸可編程蝕刻機，在蝕刻和灰化過程中都提供最高精度。蝕刻工具使用了獲得專利的變形機械臂，該臂移動以可靠地、準確地創建每一個蝕刻。Ashing資產融合了最先進的高壓流體註入模型，允許快速的熱應用、短周期時間以及優越的過程控制和可重復性。BRANSON L3200是一個非常先進的蝕刻器/asher,它在精密元件的蝕刻和粉刷方面提供了最高質量的結果。L3200采用堅固可靠的組件構建,並結合了最新的智能控制系統,以確保一致的高質量性能。先進的蝕刻和灰化系統提供了高精度、精確度和可重復性,可在每個周期上實現一致的高質量精加工。
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