二手 BRANSON / IPC P2100 #9259552 待售
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BRANSON/IPC P2100是適用於各種基材的最先進的蝕刻和灰化設備。該系統具有精密蝕刻功能和卓越的工藝控制,具有完整的靈活性。IPC P2100是一個高性能的濕蝕和灰化裝置,非常適合研發領域和生產環境中的各種應用。它采用低沖擊力工藝和自上而下的工藝來實現對基板的最佳蝕刻和灰效應。這臺機器與最大尺寸為300 mm的光掩模和石英晶片兼容。該工具采用氧氣和臭氧的組合,通過其獨特的先進的基於過氧化物的蝕刻工藝。三個階段的蝕刻過程包括預清潔、蝕刻和後清潔。在預清潔階段,氧化物層被分解並從基板上除去。在蝕刻階段,使用O2/O3流蝕刻光掩模或石英晶片。最後,在清潔後階段,任何殘留的殘留物都從表面清除。臭氧和氧氣的結合可以實現快速蝕刻速率和精確的蝕刻控制。該資產還提供高速灰分,以提高生產率。基材經過O2/O3混合物,以便快速去除光掩模或細膩的石英晶片。它還提供了廣泛的溫度範圍與操作範圍的-05C,以800C凈化和優化過程。此外,該模型還能夠進行現場壓力控制,以承受嚴酷的蝕刻和灰化過程。設備的用戶友好界面確保了直觀簡單的機器編程。直觀的觸摸屏顯示重要的流程信息,並實現快速、準確的流程編程。此外,BRANSON P2100還提供錯誤檢測和自我診斷功能,以實現機器的最佳運行。總體而言,P2100是一個先進的蝕刻和灰化系統,能夠通過結合高速蝕刻、灰化和後清洗操作提供卓越的工藝控制。該裝置非常適合從研發領域到生產領域的應用,並為各種基材提供精密蝕刻和純化。
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