二手 BRANSON / IPC PM 1813 #293740224 待售

BRANSON/IPC PM 1813是一種高度先進和高效的等離子體蝕刻器/asher設備，設計用於半導體制造和材料研究行業的精確和受控的蝕刻和清洗過程。該系統結合了IPC和BRANSON（集成過程控制）的前沿技術和行之有效的可靠性,在等離子體處理應用中提供卓越的性能和靈活性。IPC PM 1813單元具有緊湊而堅固的設計,可輕松集成到現有生產線或研究設施中。其用途廣泛的平臺支持廣泛的工藝化學和底物，使其成為各種應用的理想選擇，包括光致抗蝕劑去除、表面清潔、介電蝕刻和材料改性。BRANSON PM 1813機器的關鍵亮點之一是其先進的等離子體生成和控制能力。該工具利用高頻射頻（radio frequency）功率在過程腔內產生低壓等離子體。然後用等離子體在基板表面選擇性地蝕刻或灰分材料，具有高精度和均勻性。PM 1813資產提供了一系列流程參數，可以輕松調整和優化，以滿足特定的應用要求。這些參數包括氣體流量、壓力、射頻功率水平、溫度和過程持續時間。該模型直觀的用戶界面和軟件控制允許操作員實時監視和微調這些參數，以實現所需的過程結果。除了卓越的工藝控制能力外，BRANSON/IPC PM 1813設備還結合了先進的安全特性和設備保護機制，以確保可靠和安全運行。該系統配有互鎖、等離子體監測傳感器和緊急關機程序，以防止操作過程中發生事故和設備損壞。此外,IPC PM 1813由於其高效的晶圓處理和過程自動化功能,為高吞吐量和高生產率而設計。機器可以容納各種基材尺寸和類型，包括晶圓、平板和3D結構，從而在生產環境中實現最大的靈活性和可擴展性。BRANSON PM 1813工具還包括一系列可選的升級和附件，以進一步增強其能力。這些可能包括額外的氣體輸送系統、端點檢測傳感器、現場計量工具以及用於高級流程監測和數據分析的軟件模塊。總體而言,PM 1813 蝕刻器/asher資產結合了精度、可靠性和靈活性,為等離子體處理技術設定了新的標準。無論是用於半導體制造、MEMS（微機電系統）制造，還是材料研究，這種模式都提供了前沿的能力來支持最苛刻的應用，推動行業創新。