二手 BRANSON / IPC S3003c #9056164 待售
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ID: 9056164
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Reactor center: S3003 1813
Controller: 3000C, P/N: 10452-D
Generator: PM 119, P/N: 03100-02, 120V, single phase, 60Hz, 15A.
BRANSON/IPC S3003c是一種通用的等離子體蝕刻和灰化儀器,可提供高質量的結果,同時提供易於使用和可靠且經濟高效的性能。IPC S3003c設計有不銹鋼多室等離子體蝕刻和灰化室,處理多種基板和等離子體處理。它提供氣相和化學等離子體蝕刻和灰化能力。儀器有內置渦輪泵,可用於調節腔內壓力,允許精確控制等離子體蝕刻和灰化過程。該儀器采用可編程電源設計,可在各種蝕刻條件下進行精密蝕刻控制。不同的基材類型需要不同的蝕刻條件才能提供最佳效果。BRANSON S3003c提供了廣泛的設置來訪問各種基材類型的最佳蝕刻時間和壓力。該蝕刻器還具有電偏置和微波輔助等離子體(MAP)子系統。這結合了傳統和射頻等離子體蝕刻的優點,提高了精度和蝕刻質量。電偏置增加電離,減少周圍場失真,提高蝕刻精度和精度。雖然MAP子系統將等離子體物種擴展到包括更高分子量的物種和自由基,從而提高了蝕刻均勻性和選擇性。S3003c還配備了自動鎖載工藝和臨時控制室。這兩個特性共同作用,為蝕刻過程提供了一個快速裝卸基板到蝕刻室和受控環境。負載鎖定過程允許在不影響蝕刻質量的情況下分批裝載和卸載多個基板,而溫度控制室則確保基板和等離子體在整個蝕刻過程中保持恒定溫度。最後,BRANSON/IPC S3003c帶有圖形用戶界面(GUI),它提供了一種易於監控和控制蝕刻過程的直觀方法。GUI還為用戶提供了對各種流程參數的訪問權限,並允許根據他們的要求調整設置。IPC S3003c等離子體蝕刻和灰化系統是業界領先的儀器,提供質量、可靠性和性能。它非常適合蝕刻和灰化各種基板,為用戶提供對蝕刻過程的精確控制,以及自動裝卸、臨時控制室和圖形用戶界面等功能。對於那些需要高質量、經濟高效的蝕刻和灰化解決方案的人來說,這是一個理想的選擇。
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