二手 BRANSON L3100/3 #9124208 待售

BRANSON L3100/3是一種蝕刻器/asher,用於印刷電路板、半導體晶圓和其他類似表面的精確高性能蝕刻和/或灰化。此設備具有多種特性和功能,例如可調節的蝕刻深度、可調節的燈絲溫度、140 μ m的光斑大小、最多20分鐘的蝕刻持續時間以及每小時10個晶片的最大吞吐量。此外，它還能夠同時處理多達10種底物。蝕刻器/asher專為微電子應用而設計，可集成到潔凈室環境中。BRANSON L3100/3非常適合芯片級工藝應用,因為它具有高精度、高速度和可重復性的蝕刻和灰化功能。由電力驅動，由32英寸寬的機動車廂操作。蝕刻器/asher具有平坦、無孔的表面，有助於降低電磁輻射對基板的影響。它還提供了對四個電極的方便訪問，允許用戶將蝕刻和/或灰化參數調整到它們所需的值。為確保高蝕刻速率,它在-2.1至3.3毫巴的壓力下運行,並具有用於精確溫度調節的集成溫度控制器。蝕刻器/asher帶有一個用於安裝設備的籃子。這個籃子一批最多可容納10個基材。也可以通過可調夾緊壓力調節快速裝卸。可調夾緊壓力允許一個均勻的蝕刻過程，無論基材尺寸或類型。此外，氮氣的使用有助於避免在加工過程中氧化底物。蝕刻器/asher包括一個觸摸屏控制面板,用戶可以從中訪問設備的所有功能。該界面提供了易於操作的蝕刻器/asher,並有一個清晰直觀的菜單,用於設置參數和執行蝕刻/ashing過程。可以將結果打印在圖表記錄上以進行進一步分析。為確保安全蝕刻操作,BRANSON L3100/3 蝕刻器/Asher配有安全切斷開關,如果有過載或任何參數設置超出安全操作限制,該開關將關閉設備。此外,無主要維護要求的低維護設計有助於減少設備的停機時間。