二手 BROOKS AUTOMATION 001-8200-89 #293664916 待售

ID: 293664916
Load lock chamber.
BROOKS AUTOMATION 001-8200-89是一種蝕刻器/asher,一種用於制造高科技微電子產品的設備。它是半導體工業中一個重要的機械部件,因為它對薄膜、矽片和聚合物等圖樣底物進行蝕刻和/或灰化。8200-89旨在同時滿足半導體和封裝需求。8200-89比手動蝕刻機有許多明顯的優勢。它具有一個自動化平臺,有許多選項,包括自動基板加載以及大量的外圍設備和命令控制系統。此外,8200-89能夠在給定的時間範圍內處理比手動驅動系統更多的基板。這使得它非常適合大批量批量處理。8200-89是高度可配置的設備。它能夠制作各種形狀和大小的蝕刻版畫,從0.5 μ m到20 μ m不等。蝕刻過程的腐蝕環境包含在封閉系統內並加以控制。該裝置還具有溫度和壓力控制功能,可對基板進行精確和可重復的加工。除了精密蝕刻能力外,8200-89還提供了廣泛的與生產控制和監控相關的功能。它具有集成的數據輸入和回收機,便於監控和記錄保存。此外,該單元還通過在線和離線數據記錄器提供流程監控。此數據可以傳輸到其他系統以進行評估和故障排除。該工具具有安全功能,包括一些保護人員和產品的保護措施。8200-89除了開放通風設計外,還設計滿足UL、CSA和NEC的安全規定,以確保保護。為了保持最佳性能,機器還配備了自動清洗系統和警告系統,在發生危險時向人員發出警報。8200-89的設計基於既定的行業原則,如易用性、可靠的性能、易於維護等。集成設計確保資產易於操作,並允許在需要時進行高效的維修和維修。這使得8200-89成為大批量生產和高科技微電子發展的理想選擇。
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