二手 C-SUN I Etcher #9242148 待售
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ID: 9242148
ICP Etcher
Utility & Mainframe gases:
Gas / Flow rate / Gauge pressure
CDA / 160 slm / 100 psig
Pump purge gas:
Gas / Flow rate / Gauge pressure / Purity
PN2 / 160 slm / 70 psig / 5N
PN2 / 160 slm / 70 psig / 5N
GN2 / 160 slm / 100 psig / 5N
Cooling water:
Fluid / Flow rate / Pressure / Resistivity / Temperature
Filtered H2O / 4~8 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Filtered H2O / 15~20 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Filtered H2O / 3~7 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Filtered H2O / 3~7 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Filtered H2O / 20~40 / 40~70 / 2 M-Ω cm / 18~25°C
Exhaust pipes:
Exhaust port / Flow rate / Negative pressure / Connector size / Connection
Process pump / 100 cfm / -1/2" H2O / KF40 / General acid exhaust port
Loadlock pump / 100 cfm / -1/2" H2O / KF40 / Ibid
Gas box / 100 cfm /-1/2" / H2O / 4" / Ibid
Chamber (PM) / 100 cfm /-1/2" / H2O / 4" / Ibid
Process gases:
Gas / Flow rate / Gauge pressure / Purity / Heat tape
BCl3 / 200 sccm / 20-40 psig / 5N / Yes
O2 / 200 sccm / 20 – 40 psig / 5N / No
CHF3 / 20 sccm / 20 – 40 psig / 5N / No
He / 50 sccm / 0.5 – 20 psig / 5N / No
Power supply: 380V, 3-Phase, 5-Wire, 50A, 50/60HZ
Mainframe & Dry pump (P.C.): 380V, 3-Phase, 5-Wire, 50A, 50/60HZ.
C-SUN I Etcher是C-SUN Industries為工業金屬制造業設計制造的先進asher/etcher。它提供了一系列的精密磨損、切割和精加工工具來處理各種金屬，包括銅、黃銅、鋁、鋼，甚至更硬的金屬。I Etcher已證明其性能和增強的生產成果。它能夠在高溫高壓環境中準確表現。C-SUN I蝕刻器具有強大的功能,能夠在任何類型的金屬中蝕刻出色的表面效果。頭部強大的機械運動能夠以自然和一致的方式生成最高數量的細節,使操作員能夠以最小的努力獲得最佳的結果。此外,該設備還包含可調節的參數,如振動速度、沖擊和葉片速度,以便精確控制表面光潔度。該機配備了強大的控制面板，直觀地為其操作員提供。它的用戶友好界面將猜測排除在生產過程之外,允許操作員通過單擊幾下即可設置所需的功能的準確細節。控制面板還包含安全功能,例如,如果工藝參數超出設置範圍,則自動關閉,從而保護操作員免受潛在傷害。I Etcher由硬化鋼制成，可抵抗蝕刻過程中產生的磨損力，確保持久耐用，使用壽命長達10年。機器強大的除塵系統還可以清潔高效的操作，保護操作員和環境。該機配有金剛石和碳化物刀片、金剛石磨頭、磨輪用刀片、模板發生器、打磨盤等一系列配件。它也可以很容易的定制，提供各種配件的蝕刻過程（即鉆石切割圓盤，鋼磨盤）。綜上所述,C-SUN I Etcher是為金屬加工應用而設計的高級精密蝕刻器。它專為持久耐用而設計,采用用戶友好、直觀的控制面板,可實現快速準確的生產效果。它能夠以最低的工作量和成本提供卓越的表面飾面,並配備一系列配件以實現最大程度的定制。
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