二手 CANON / ANELVA 4100 #9210331 待售

CANON/ANELVA 4100是一種幹式射頻蝕刻器和asher設備，用於半導體器件的精確蝕刻和灰化。該系統以13.56 MHz的頻率運行，可用於進行SiO2剝離、氧化物孔開口、氧化物側壁和底部蝕刻以及FGA斷封等一系列蝕刻和灰化過程。它旨在實現高吞吐量的應用,通常用於半導體器件的制造。CANON 4100的設計緊湊，帶有低調的側面鑲板機身，非常適合需要高精度的芯片規模蝕刻應用。它還具有用於裝卸零件的完整工作臺，並且可以控制多達8個單獨的蝕刻區，以提高工藝效率。此外,該設備還配備了四個溫度控制級,允許用戶在蝕刻或灰化之前將基板預熱和冷卻到特定溫度,而其模塊化的工藝控制面板則便於調整和監控工藝參數。ANELVA 4100包含多個過程監控功能,包括用於電流和電壓的原位檢測機、氣流感測和溫度監控。這有助於確保所有進程都能準確執行,並確保蝕刻後的設備達到所需的結果。此外,該工具還具有多種安全功能,例如用於防止射頻輻射的射頻屏蔽室,以及用於檢測任何可能射頻泄漏的現場射頻主管。4100是一種用途廣泛、可靠的資產,能夠提供可靠、高精度的半導體器件蝕刻和粉刷。其低調的設計和原位過程監控功能確保了精確的控制和監控，而其模塊化的過程控制面板和四個溫度控制階段允許用戶為其應用定制蝕刻和灰化參數。該模型是制造具有高精度和高效率的半導體器件的理想工具。