二手 CANON / ANELVA DEA-503 #293649682 待售

CANON/ANELVA DEA-503是專門為蝕刻半導體和其他微電子材料而設計的反應性離子蝕刻（RIE）機器。RIE工藝利用化學反應物和電場產生的等離子體從基板表面去除材料，從而產生高精度的結果。佳能DEA-503能夠蝕刻有機和無機材料，如矽、石英和陶瓷，以及一系列其他半導體和介電層。該機器的最高溫度範圍為200-600°C，可容納200毫米尺寸和15公斤重量的基板。機器包含幾個關鍵部件，從一個等離子體腔室和兩個提供必要真空和化學反應物的泵開始。這種反應物可以根據被蝕刻的材料來選擇，允許你使用氧氣、氯氣、氟氣和其他元素。電源是一種頻率控制的源發生器，它提供了產生等離子體所需的必要的射頻功率。腔室內的電極產生一個定向電場，可以根據蝕刻應用進行配置。壓力測量傳感器還允許操作員監測等離子體室內的壓力平衡。ANELVA DEA-503附帶的高級軟件提供了一個直觀的用戶界面，允許用戶快速修改設置或調整參數。還包括自動停止、自動啟動和自動調整等自動化功能,以提高蝕刻過程的效率。此外,用戶界面提供了大量診斷數據,這些數據可用於排除蝕刻過程中的任何問題。DEA-503是市場上最可靠、最精確的蝕刻機之一。它旨在為各種材料提供精確度和精確度方面的卓越結果。它具有直觀的用戶界面和先進的自動化功能，非常適合不同的工業蝕刻應用。