二手 CANON / ANELVA DEM-451 #9055187 待售

CANON/ANELVA DEM-451是一種用於加工微觀表面和材料的濕蝕刻和灰化幹蝕刻器。它具有兩個不同的處理單元,它們非常適合各種應用和材料,如基材制備、設備制造、微接觸打印和3D打印。濕蝕刻裝置設有泥漿罐和可變壓力泵。此單元允許在整個蝕刻區域上有均勻的壓力,從而實現更高的精度和準確性。泥漿罐可以裝載KOH、TMAH、HF溶液等多種混合物，以及定制反應物。液體流量和壓力都可以調整以達到所需的蝕刻參數。可以使用板載PC自動監控蝕刻速率。佳能DEM-451的灰化幹蝕刻單元由一個真空室和幾個等離子體源組成。真空為灰化過程提供了幹凈穩定的環境。等離子體源產生一個按需聚焦且均勻的等離子體，從而獲得完美的灰化結果。可自定義ashing工藝參數以匹配要處理的材料。這些參數包括蝕刻速率、時間和所用氣體的類型，如氧氣、氙氣、氦氣或CF4。這種先進的蝕刻器設計用於批處理，最多可同時處理19個晶圓。ANELVA DEM-451是一種通用、精密的微觀表面和材料蝕刻和灰化工具。它具有可靠而堅固的設計,在苛刻的微處理應用中提供卓越的性能。用戶友好的控制系統提供了直觀的界面和過程自動化。其強大的功能、靈活性和精確度使其成為基板制備、設備制造、微連接打印和3D打印的理想選擇。