二手 CANON / ANELVA ECR-300E #9380734 待售

CANON/ANELVA ECR-300E是為高性能半導體器件生產而設計的最先進的蝕刻和灰化設備。它是一個緊湊高效的系統，配備了廣泛的標準特性和選項，包括先進的等離子體源技術。CANON ECR-300E提供了優化的濺射過程,具有出色的均勻性和可重復性,確保了最佳質量和生產率水平。ANELVA ECR-300E提供高達600 mm的晶片兼容性,並具有獨特的五級扁平晶片傳輸單元,能夠通過獨立的工藝室運載晶片,而無需人工幹預。晶圓傳輸機設計為提供最大程度的工藝回收，防止晶圓因過度加工而損壞或汙染。多過程腔室結構還提供了整個濺射過程中的動態晶片控制，從而實現了離子轟擊角和基板偏置的動態優化。此外，ECR-300E還配置了高達200MHz的超高頻，以及許多先進的濺射源選項，包括磁控管（DC和RF）和極高密度等離子體（EHD）多目標源。CANON/ANELVA ECR-300E能夠同時使用一個或兩個源生產單色或多色薄膜，還能處理血漿摻雜應用。該工具進一步包括多個過程控制和監控功能，允許對過程壓力、溫度和功率等過程參數進行精確控制。CANON ECR-300E具有獨特的兩級液流冷卻設備,可提供最佳工藝溫度,可用於低溫和低溫退火。該模型還提供閉環冷卻,以實現更高的精度控制,並提供自動化配方管理設備,方便流程設置。此外,ANELVA ECR-300E還具有高性能的自動氣體控制功能,可實現高精度的質量控制。ECR-300E的設計符合業界最高的標準,可在多年的運營中獲得最佳的性能和可靠性。該系統還得到全方位的服務和支持，包括備件、維護合同和全面的技術支持。CANON/ANELVA ECR-300E非常適合所有高安全性的蝕刻和灰化工藝,為各種半導體器件制造應用提供了質量和效率。