二手 CANON / ANELVA I-2100 SRE #293666068 待售

CANON/ANELVA I-2100 SRE是為滿足工業和研究應用先進表面處理的需要而開發的高精度蝕刻器/asher。該設備具有最先進的功能,能夠生產高質量的蝕刻或蝕刻/拋光表面,具有卓越的精度和可重復性。CANON I-2100 SRE包含蝕刻和灰化的高壓真空能力、兩個獨立的氣流系統和一個計算機控制的照明設備。它還有一個離子束發生器，以及一個自動控制系統，確保整個工藝區域的氣體壓力和溫度均勻。對工藝室內使用的燃燒氣體進行監測，以實現精確的壓力控制，並鏈接一臺計算機進行數據記錄、處理和過程控制。ANELVA I-2100 SRE具有廣泛的蝕刻和灰化材料，包括Si、Al2O3、Cr、Ta、TiC+Si、TiN+Si等。它旨在通過使用預先編程的參數進行蝕刻和粉刷,操作範圍廣泛,適合各種應用程序要求。此外，I-2100 SRE有一個集成的電弧抑制單元，以幫助保護工藝室免受因濺射而降解。該機器還具有與外部系統（如ICP工具）集成以實現原位蝕刻的能力。CANON/ANELVA I-2100 SRE還具有各種可選功能,如晶體偏轉控制、輔助氣體入口、排氣口和額外的鐘形罐。它們旨在幫助提高工藝產量並保持工藝室清潔。最後,CANON I-2100 SRE是一款可靠而堅固的蝕刻器/asher,具有出色的安全特性、低維護設計和易於操作。該設備有手動版本和計算機控制版本,具有多種可選功能。其整體性能往往優於其他蝕刻器/灰燼。