二手 CANON / ANELVA I-2100 #293754407 待售

CANON/ANELVA I-2100是由CANON和ANELVA, Inc.製造的蝕刻/asher模型。CANON I-2100是一種先進的高性能蝕刻器/asher設備。該模型用於Si微加工的生產。它利用等離子發生器、真空室和排氣鼓風機蝕刻Si集成電路（IC）表面的電路模式。此外，該系統能夠粉刷不希望得到的表面材料，如光致抗蝕劑殘留物、有機汙染物和其他不希望得到的殘留物。ANELVA I-2100利用雙等離子體生成單元最大限度地提高濺射和蝕刻能力。在蝕刻過程中，電離等離子體導致Si上的表面圖樣形成，這個過程有效地去除了目標層，剩下的殘留物隨後被粉碎或掩埋出表面。該機利用四個外部氣源，高溫高達715攝氏度，腔室壓力高達1,000毫巴，使其能夠蝕刻甚至最堅韌的Si基材料。此外,該工具還具有可調節的射頻占空比周期以及允許多級流程的附加功能。I-2100的電腦化PC控制中心提供了一種監視蝕刻和灰化性能的方法，並允許用戶控制資產參數，以優化蝕刻和灰化性能。CANON/ANELVA I-2100 蝕刻器/asher模型是快速原型設計、特征密度增強和MEMS制造的理想工具。其強大的性能、先進的蝕刻和灰化功能以及可調節的參數使其成為工程師和設計師的最愛。憑借其先進的PC控制中心和多個氣源，它可以輕松地與其他系統和過程集成，以實現最高的效率。