二手 CANON / ANELVA I-4100 SVII #9158755 待售

CANON/ANELVA I-4100 SVII是一款為精密等離子體蝕刻、灰化和晶片處理而設計的蝕刻器-asher。這是一種高效率的儀器，已成為半導體晶圓處理在許多應用中的領先選擇。該儀器采用模塊化設計，具有最大的靈活性，允許四個腔室按順序連接，而無需廣泛地重新連接布線。四個會議廳連接到一個直觀的控制設備，從而能夠毫不費力地創建和監測自動化流程，確保每個流程的準確性和統一性。該儀器采用完全節省空間的設計，允許有限的空間而不犧牲性能。蝕刻機配備了高頻驅動器（HFD）和高壓電源單元（HVPS）。HFD在500kHz運行,使儀器能夠在一系列晶圓上執行各種等離子體處理應用。該系統還有一個統一處理單元（UPS），允許在一系列晶圓上進行均勻等離子體處理。CANON I-4100 SVII的設計考慮了安全性和維護性,內置了安全探針和反向控制機,可監控蝕刻機的順序和狀態。一系列的配件使這種儀器對環境有一種，有一個特殊的排氣工具消除廢氣和煙霧從工作區域。這種蝕刻器的設計允許精確和可重現的過程，減少零件之間的變化。該儀器具有先進的軟件資產，可以為每個進程定制設置、同步和控制。ANELVA I-4100 SVII具有過程自動化和限時的能力，是半導體晶圓加工的理想選擇。