二手 CANON / ANELVA I-42230 #9236119 待售

CANON/ANELVA I-42230是用於晶圓制備的金屬等離子體離子蝕刻器/Asher工具。它設計用於在各種晶圓基板上原位蝕刻、清潔和剝離鋁、銅和金等金屬。CANON I-42230具有真空和氣體供應、多高度晶圓機械手和高真空金屬等離子源（MPS）的單室配置。MPS具有一個陽極和兩個電容器驅動的電極環，產生一個用於蝕刻的離子束。陽極由高速鎢絲制成，兩環電極由鋁殼和銅環組成。ANELVA I-42230能夠從晶片表面蝕刻金屬和金屬氧化物，清潔金屬表面，以及從晶片中剝離金屬。適用於廣泛的工藝參數和條件。I-42230配有可變質量流量控制器，可以精確控制蝕刻和清洗過程。CANON/ANELVA I-42230的蝕刻時間大約在一到幾分鐘之間,具體取決於工藝、晶圓表面積和薄膜厚度。也可用於處理比大約四微米厚的晶片。最大蝕刻速率高達1.0 µm/min，最高工藝溫度為500 °C。CANON I-42230具有50至8 x 10-5 Pa的真空範圍，它能夠產生多達兩種工藝氣體，即氮氣和氧氫氣體，或氙氣和氧氫氣體。其蝕刻功耗為12 kW，灰化工藝功耗為36 kW，工藝壓力範圍為0.3至30 mbar。為了安全起見，ANELVA I-42230有一個火災警報系統，該系統帶有監測氣體流動和工藝狀況的傳感器。系統連接到中央控制系統,該系統警告任何危險。I-42230還設有緊急停止開關和接地故障隔離斷路器。CANON/ANELVA I-42230易於設置和操作。它在性能上也非常可靠，被譽為市場上最具成本效益的等離子體蝕刻/asher工具之一。此蝕刻器/asher工具非常適合晶圓制造、MEMS/MOEMS工藝和集成電路制造。