二手 CANON / ANELVA ILD 1051 #9111593 待售

CANON/ANELVA ILD 1051是一種蝕刻器或asher，設計用於生產印刷電路板和半導體器件。該蝕刻器采用化學輔助離子束蝕刻器，利用雙大功率氣源系統創建蝕刻圖樣。氣源是由高壓氙和氯（或六氟化硫）混合而成。這些氣體的組合使得CANON ILD 1051可以創建所需的精確蝕刻圖案。ANELVA ILD 1051配備了兩個單獨的等離子體工藝進行蝕刻，使其成為市場上效率最高的蝕刻器之一。該蝕刻器利用了混合沈積工藝，結合了負離子等離子體工藝和底物材料的物理解吸。這一過程結合了微電路的蝕刻和納米尺度特征的產生。負離子等離子體過程允許蝕刻發生的速率高於那些可能使用物理解吸單獨。ILD 1051利用靜電聚焦來保證蝕刻操作的準確性。這款蝕刻器配備了一個控制單元，可以讓用戶根據基材類型輕松調整電流、電壓和脈沖時間進行精確蝕刻速率。CANON/ANELVA ILD 1051有一個真空室，以防止蝕刻過程中的汙染。此蝕刻器具有可編程電極配置,允許用戶根據需要在不同深度創建不同的蝕刻模式。CANON ILD 1051蝕刻器還具有先進的計算機界面，允許用戶自定義操作參數並跟蹤蝕刻活動。該蝕刻器允許同時蝕刻多個基板。此外,此蝕刻器還具有交互式圖形用戶界面,該界面允許用戶可視地監視蝕刻進度,並根據需要對蝕刻過程進行更改。ANELVA ILD 1051是生產微電子和半導體器件的理想工具。憑借其高速蝕刻能力，ILD 1051可以處理多種材料，並配備以毫秒精度打造精確的蝕刻圖案。該蝕刻器能夠產生多種幾何形狀，使其非常適合各種微電子應用。