二手 CANON / ANELVA ILD 1060 #9111594 待售

CANON/ANELVA ILD 1060是由CANON Corporation製造的高精度蝕刻/asher。該設備為廣泛的晶圓加工應用提供先進的幹蝕刻和電離物理濺射。該系統采用高倍率光學單元，精確聚焦離子束，以較低的基板損傷提供更高的加工精度。該機采用精密直線驅動伺服電機的集成四軸運動工具。它提供了一個精確和可重復的蝕刻過程，以實現高精度的精細圖樣。其直接振動運動補償（DVMC）提供超精細蝕刻,且響應外部振動的波動最小。CANON ILD 1060能夠在矽片上產生超細圖案，因為它能夠蝕刻寬度小至2微米、深度達40納米的特征。該資產可用於多層過程，因為它可以蝕刻不同的材料層，而不會損害層的完整性。該模型采用了使用超薄薄膜蝕刻技術的自動化向上/向下方向工藝,實現了額外的高精度蝕刻,同時還減少了均勻性和工藝晶片損壞。該設備還能夠通過一個可調節的局部加熱系統進行幹式灰化，該系統可以為基板表面提供高達1000W的功率。ANELVA ILD 1060與一系列不同的工藝氣體兼容，包括氧氣、氙氣和氮氣。其原位洗滌器顆粒單元減少汙染，確保優越的晶圓清潔。機器還包括一個允許遠程監控的現場遠程接口。總之，ILD 1060是一種功能強大且精確的蝕刻器/asher工具，提供一系列方便的功能。它能夠創建高精度的精細圖樣，加上其全面的端到端遠程功能，使其處於幹蝕刻和電離物理濺射過程的最前沿。